尺寸:840*410*500 UVW-Z軸平臺主要用于雙面電池片的IV檢測,該UVW平臺采用超薄型,輕量化設計,利用特殊的交叉滾柱導軌施加預壓,達到高剛性,高精度,反復定位精度可達±5μm。Z軸探針排可以根據現場情況進行調節以滿足不同柵距要求。
尺寸:332*356*765 特征要點: ·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette ·Cassette加載檢測 ·整體潔凈度等級優于ISO Class4 ·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度 ·晶圓交接重復性精度≤7μm ·運行速度最大150mm/s ·停電或緊急停止安全原位保持 ·維護MTTR≤30分鐘 ·支持SEMI標準